宓斌玮
【姓名】 宓斌玮
【职称】 研究实习员;
【研究领域】 仪器仪表工业;航空航天科学与工程;无线电电子学;
【研究方向】 MEMS微系统的电路设计
【发表文献关键词】 微加速度计,微机械加工,各向异性腐蚀,悬臂梁结构,质量块,谐振频率,电容式加速度计,块结构,深反应离子刻蚀,硅片,加工工艺,横向灵敏度,硅微机械,品质因子,阻尼孔,三明治,惯性器件,工艺流程,惯性质量...
【工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
【所在地域】 上海
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[1]尹韬;杨海钢;张翀;吴其松;焦继伟;宓斌玮;.一种用于电容型体硅微陀螺的低噪声读出电路芯片[J]电子与信息学报.2010,(01)
[2]冷悦;焦继伟;张颖;顾佳烨;颜培力;宓斌玮;.微机械陀螺DRIE刻蚀过程中的局域掩膜效应[J]传感技术学报.2010,(08)
[3]王育才;焦继伟;段飞;张颖;宓斌玮;李金鹏;钱清;王跃林;.一种具有“8悬臂梁-质量块”结构的新型硅微加速度计[J]半导体学报.2007,(05)
[4]段飞;焦继伟;王育才;张颖;宓斌玮;李金鹏;钱清;王跃林;.基于“8悬臂梁-质量块”结构的新颖x轴音叉式硅微机械陀螺[J]半导体学报.2007,(10)
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