张靖
【姓名】 张靖
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 干法刻蚀,感应耦合等离子体,InP,刻蚀端面,SG-DBR激光器,波长测试,波长控制,虚拟仪器平台,自动测试,刻蚀速率,控制系统结构图,优化工艺参数,功率,气体流量,数据查询,取样光栅,刻蚀气体,输出...
【工作单位】 武汉光迅科技股份有限公司
【曾工作单位】 武汉光迅科技股份有限公司;
【所在地域】 湖北武汉
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中国期刊全文数据库    共找到3篇
[1]陈磊;张靖;张瑞康;江山;毛谦;.SG-DBR激光器波长自动测试控制系统[J]光通信研究.2007,(02)
[2]陈磊;张靖;张瑞康;江山;.感应耦合等离子刻蚀InP工艺[J]功能材料与器件学报.2007,(03)
[3]张瑞康;董雷;余永林;王定理;张靖;陈磊;江山;.MOCVD实现InGaAsP波导对接生长的研究[J]半导体学报.2008,(06)
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中国重要会议全文数据库    共找到1篇
[1]张瑞康;董雷;江山;余永林;王定理;张靖;陈磊;.准连续调谐31nm的取样光栅DBR激光器的研制[A].全国第十三次光纤通信暨第十四届集成光学学术会议论文集.2007-11-01
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