郝惠娟
【姓名】 郝惠娟
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 电子束光刻,微三维加工,软刻蚀技术,母板,弹性印章,辐射降解,聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA),曝光剂量,扫描方式,电子束曝光机,微三维结构,电子束曝光系统,聚合物,反应机理,正性抗蚀剂,加工方法,辐射化...
【工作单位】 山东大学
【曾工作单位】 山东大学;
【所在地域】 山东济南
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[1]卢文娟;张玉林;孔祥东;郝惠娟;.电子束重复增量扫描曝光方式的反应机理研究[J]微细加工技术.2006,(05)
[2]卢文娟;张玉林;孔祥东;郝惠娟;.电子束光刻制造软刻蚀用母板的研究[J]光电子.激光.2007,(07)
[3]卢文娟;张玉林;孔祥东;郝惠娟;.基于软刻蚀技术的微三维结构加工方法研究[J]微纳电子技术.2007,(10)
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