张正元
【姓名】 张正元
【职称】 研究员;
【研究领域】 无线电电子学;自动化技术;电信技术;
【研究方向】 模拟IC、微电子器件以及MEMS技术
【发表文献关键词】 真空键合,退火,SOI,全介质隔离,IC工艺,ISFET,多晶硅,MEMS,三层结构,化学机械抛光,各向同性,各向异性,平坦化,深槽刻蚀,平坦化技术,NH+4,等离子刻蚀,高频噪声,MEMS器件,全介...
【工作单位】 中国电子科技集团第二十四研究所
【曾工作单位】 中国电子科技集团第二十四研究所;
【所在地域】 重庆
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[9]李小刚;冯志成;张正元;胡明雨;.A charge allocating model for the breakdown voltage calculation and optimization of the lateral RESURF devices[J]半导体学报.2009,(03)
[10]姚瑞楠;刘玉奎;张正元;.微型压力传感器薄膜凹槽的制造技术[J]微电子学.2009,(03)
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