杨辅强
【姓名】 杨辅强
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;金属学及金属工艺;自动化技术;
【研究方向】 振动主动控制
【发表文献关键词】 光刻机,工件台,定位平台,研制,隔振平台,轨迹规划,加减速过程,S形曲线,定位系统,掩模台,精密工件,试验平台,运动系统,模拟运动,同步扫描,微制造,运动轨迹,光学系统,试验台,运动部件,直线电机,工...
【工作单位】 中南大学
【曾工作单位】 中南大学;
【所在地域】 长沙
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[1]邓习树;吴运新;杨辅强;王永华;.用于光刻机模拟运动的精密工件台宏动定位系统研制[J]电子工业专用设备.2007,(02)
[2]王建平;杨辅强;.微制造隔振试验平台定位系统的轨迹规划[J]航空精密制造技术.2007,(04)
[3]邓习树;吴运新;李宝童;杨辅强;.光刻机模拟隔振试验装置内部世界动力学模型分析[J]制造技术与机床.2007,(10)
[4]王建平;刘矿陵;杨辅强;.光课机隔振试验平台定位系统的轨迹规划[J]工具技术.2007,(11)
[5]杨辅强;吴运新;.基于遗传算法的步进式扫描光刻机路径规划[J]机械科学与技术.2007,(12)
[6]邓习树;吴运新;隆志力;杨辅强;.光刻机试验运动装置振动信号的时频分析[J]微细加工技术.2007,(05)
[7]杨辅强;吴运新;邓习树;.步进扫描式光刻机隔振试验平台主动减振系统试验研究[J]噪声与振动控制.2008,(04)
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