郑建宇
【姓名】 郑建宇
【职称】 工程师;
【研究领域】 无线电电子学;电力工业;自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 PECVD,氮化硅,射频,均匀性,壁型,生产率,卧式,单管,反应室,装片,气体流量,工艺气体,脉冲调制,互锁,报警,净化工作台,控制与显示,射频电源,装片量,启停,
【工作单位】 北京七星华创电子股份有限公司
【曾工作单位】 北京七星华创电子股份有限公司;
【所在地域】 北京
今年新增/文献篇数 核心期刊论文数 基金论文数 第一作者篇数 总被引频次 总下载频次
0/5 0 0 2 5 661
中国期刊全文数据库    共找到4篇
[1]李吉;孙朋涛;郑建宇;严金梅;魏红军;麻增智;赵朋松;.低压磷扩散工艺研究[J]太阳能.2016,(09)
[2]郑建宇;宋晓彬;张燕;李补忠;.高产能四管卧式热壁型PECVD设备[J]电子工业专用设备.2010,(07)
[3]郑建宇;盛金龙;张上华;.卧式PECVD在太阳能行业的应用[J]电子工业专用设备.2007,(09)
[4]钟华,郑建宇.单管卧式热壁型PECVD设备[J]电子工业专用设备.2004,(04)
更多