学者知网节

【姓名】	孔祥东
【职称】	高级工程师;
【研究领域】	无线电电子学;
【研究方向】	电子束曝光技术、三维微加工技术以及MEMS加工技术
【发表文献关键词】	电子束光刻,微三维加工,曝光剂量,辐射降解,聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA),刻蚀深度,反差,吸收能量密度,软刻蚀技术,母板,弹性印章,扫描方式,电子束曝光机,正性抗蚀剂,电子束曝光系统,聚合物,反应机理...
【工作单位】	东营职业学院
【曾工作单位】	东营职业学院;
【所在地域】	山东东营

中国期刊全文数据库 共找到8篇

[1]孔祥东;冯圣玉;张玉林;.电子束重复曝光加工PCR微通道的工艺研究[J]微纳电子技术.2009,(01)

[2]卢文娟;张玉林;孔祥东;郝惠娟;.电子束重复增量扫描曝光方式的反应机理研究[J]微细加工技术.2006,(05)

[3]卢文娟;张玉林;孔祥东;郝惠娟;.电子束光刻制造软刻蚀用母板的研究[J]光电子.激光.2007,(07)

[4]卢文娟;张玉林;孔祥东;郝慧娟;.用反差确定电子束曝光剂量与刻蚀深度的关系[J]强激光与粒子束.2007,(08)

[5]卢文娟;张玉林;孔祥东;郝惠娟;.基于软刻蚀技术的微三维结构加工方法研究[J]微纳电子技术.2007,(10)

[6]卢文娟;张玉林;孔祥东;.电子束环氧基负胶的曝光反应机理分析[J]微细加工技术.2007,(05)

[7]孔祥东;张玉林;卢文娟;.电子束液态曝光技术的甩胶原理研究[J]微细加工技术.2005,(04)

[8]卢文娟;张玉林;孔祥东;.电子束能量、剂量对固化厚度影响的研究[J]微细加工技术.2005,(04)

今年新增/文献篇数	核心期刊论文数	基金论文数	第一作者篇数	总被引频次	总下载频次
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