唐小萍
【姓名】 唐小萍
【职称】 研究员;
【研究领域】 无线电电子学;计算机软件及计算机应用;计算机硬件技术;
【研究方向】 微电子技术研究
【发表文献关键词】 标记,检测,底面对准,双面光刻,样品斑点,掩模,样片,生物芯片,生物芯片扫描仪,对准精度,深度光刻,MEMS,图像处理,步进电机,电磁阀,数据提取,对准系统,光刻机,电荷耦合器件,检测仪,机控制系统,...
【工作单位】 中国科学院光电技术研究所
【曾工作单位】 中国科学院光电技术研究所;
【所在地域】 成都
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