梁存龙
【姓名】 梁存龙
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 钨,ULSI化学机械抛光,浆料(抛光液),铜,全局平面化,化学机械抛光,后清洗,甚大规模集成电路,浆料,抛光速率,多层布线,抛光液,铜片,多层布,抛光技术,线导,腐蚀电流密度,ULSI,磨料,氧化硅,...
【工作单位】 河北冀雅电子有限公司
【曾工作单位】 河北冀雅电子有限公司;
【所在地域】 石家庄
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[1]刘玉岭;李嘉席;檀柏梅;梁存龙;.ULSI制备中多层布线导体铜的抛光液与抛光技术的研究[J]电子工业专用设备.2007,(10)
[2]刘玉岭,李嘉席,檀柏梅,梁存龙.ULSI制备中多层布线导体铜的抛光液与抛光技术的研究[J]半导体情报.2000,(05)
[3]刘玉岭,杨鸿波,檀柏梅,梁存龙.镶嵌钨的化学机械抛光的研究[J]半导体杂志.2000,(04)
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