谢小柱
【姓名】 谢小柱
【职称】 教授;
【研究领域】 金属学及金属工艺;无线电电子学;动力工程;
【研究方向】 激光加工及精密加工技术
【发表文献关键词】 化学机械抛光,抛光液,抛光效率,表面平整度,抛光效果,氧化剂,半导体晶片,磨料,分散剂,非金属材料,物理性能,加工表面,化学反应速度,光过程,抛光垫,接触模式,循环使用,粘性,稳定性,化学性能,
【工作单位】 广东工业大学
【曾工作单位】 广东工业大学;
【所在地域】 广东广州
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