李增谱
【姓名】 李增谱
【职称】
【研究领域】 核科学技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 弗瑞曼离子源,B~+,放电室,离子注入机,张角,会聚束,离子束,弧放电,散束,法拉第筒,放电等离子体,束流,离子比,大规模集成电路,金属材料改性,弧流,热屏,灯丝寿命,工作温度,半导体工业,
【工作单位】 中国原子能科学研究院
【曾工作单位】 中国原子能科学研究院;
【所在地域】 北京
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[1]林治洲,李增谱,吴建华,王戈.中流强注入机的弗瑞曼离子源[J]原子能科学技术.1987,(01)
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