叶亚仙
【姓名】 叶亚仙
【职称】
【研究领域】 仪器仪表工业;自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 Bragg衍射,MOCVD,半导体设备,微机控制系统,机全,动控制,系统研制,有机源,高精度,转台,微机控制,反应室,细分控制,步进电机,数字显示,工作台,GaAs,外延片,拟图,手动,运行结束,控温...
【工作单位】 中国科学院西安光学精密机械研究所
【曾工作单位】 中国科学院西安光学精密机械研究所;
【所在地域】
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[1]叶亚仙.BD—1高精度Bragg衍射仪微机控制系统研制[J]高速摄影与光子学.1989,(01)
[2]高鸿楷,张济康,叶亚仙,李秀如,云峰,刘瑛,张增颜,侯洵.实用化微机全自动控制XG60-1型MOCVD装置的研制[J]高速摄影与光子学.1990,(04)
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