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秦君君
【姓名】
秦君君
【职称】
【研究领域】
工业通用技术及设备;物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】
端部霍尔离子源,冷阴极,宽束,辅助沉积,离子源,光学薄膜,离子束,透过率,霍尔无栅离子源,MgF2,离子束辅助,低能量,离子源辅助,层应力,光学膜层,真空度,离子能量,能量离子,镀膜,K9玻璃,
【工作单位】
中国科学院西安光学精密机械研究所
【曾工作单位】
中国科学院西安光学精密机械研究所;
【所在地域】
陕西西安
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共找到1篇
[1]刘文军,弥谦,秦君君,方勇,杨利红.
宽束冷阴极和端部霍尔离子源对薄膜透过率和应力的影响
[J]应用光学.2005,(02)
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