覃俭
【姓名】 覃俭
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 蒸发源,超高真空,过渡金属,金属蒸发,加热器,淀积速率,阴极电流效率,蒸发速率,加热电流,表面物理,金属薄膜,电阻加热器,电流密度,低电流,原子束,国家重点实验室,膜的制备,蒸发膜,克离子,W丝,
【工作单位】 中国科学院物理研究所
【曾工作单位】 中国科学院物理研究所;
【所在地域】 北京
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[1]陆华,厉建龙,张青哲,覃俭,薛其坤.超高真空中使用的高纯过渡金属蒸发源[J]真空科学与技术.2000,(03)
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