刘元福
【姓名】 刘元福
【职称】
【研究领域】 物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 碳氢,化学气象沉积,阻隔性能,射频等离子体,聚对苯二甲酸乙二醇酯,高阻隔,膜的制备,性能研究,D峰,物理研究所,沉积速率,PECVD,自偏压,Ar气,负偏压,沉积时间,材料实验,射频放电,等离子体物理...
【工作单位】 中国科学院物理研究所
【曾工作单位】 中国科学院物理研究所;
【所在地域】 北京
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[1]陈光良,葛袁静,张越飞,张广秋,张谷令,王久丽,刘元福,顾伟超,冯文然,刘赤子,杨思泽.高阻隔碳氢膜的制备及性能研究[J]物理学报.2005,(02)
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