李奇志
【姓名】 李奇志
【职称】
【研究领域】 无机化工;
【研究方向】
【发表文献关键词】 氧,金刚石薄膜,微波等离子体,化学气相沉积,金刚石,CH_4,气源,金刚石生长,碳源,类金刚石碳,浓度比,微波源,真空物理,微波等离子体化学,蚀掉,生长速率,石墨,天然金刚石,放电管,真空阀,
【工作单位】 中国科学院物理研究所
【曾工作单位】 中国科学院物理研究所;
【所在地域】 北京
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[1]李奇志,钱三德,袁磊.用CO和CH_4作为碳气源生长金刚石的比较[J]真空科学与技术.1994,(03)
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