林钢
【姓名】 林钢
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 栅介质,MOSFET,FinFET,三栅MOSFET,平面双栅MOSFET,竖直结构MOSFET,环形栅MOSFET,隧穿,CMOS器件,漏电流,寿命预测,叠层,压应力,双栅,新结构,沟道区,Si_3...
【工作单位】 中国科学院微电子研究所
【曾工作单位】 中国科学院微电子研究所;
【所在地域】 北京
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[1]钟兴华;周华杰;林钢;徐秋霞;.高性能亚100nm栅长氮氧叠层栅介质难熔W/Ti N金属栅电极CMOS器件(英文)[J]半导体学报.2006,(03)
[2]林钢,徐秋霞.恒压应力下超薄Si_3N_4/SiO_2叠层栅介质与SiO_2栅介质寿命比较[J]半导体学报.2004,(12)
[3]林钢,徐秋霞.超薄Si_3N_4/SiO_2(N/O)stack栅介质及器件[J]半导体学报.2005,(01)
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