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李泠
【姓名】
李泠
【职称】
【研究领域】
无线电电子学;计算机硬件技术;计算机软件及计算机应用;
【研究方向】
微电子工艺及其计算机模拟技术
【发表文献关键词】
移相掩模,元胞,二元掩模,自动机,移相掩模技术,抗蚀剂,元胞自动机,各向异性腐蚀,碰撞理论,交替式移相掩模,相位冲突,光学临近效应校正,抗蚀剂显影,移相器,曝光分辨率,无铬,掩模版,移相方式,显影轮廓...
【工作单位】
中国科学院微电子研究所
【曾工作单位】
中国科学院微电子研究所;
【所在地域】
北京
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学术成果产出明细表
中国期刊全文数据库
共找到12篇
[1]韩岳男;杨冠华;卢年端;李泠;.
非晶铟镓锌氧化物薄膜晶体管的尺寸微缩技术研究进展
[J]物理学报.2026,(08)
[2]卢文栋;杨冠华;卢年端;李泠;.
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[3]林雪梅;李蒙蒙;龙世兵;李泠;.
基于降低有机场效应晶体管泄漏电流的研究进展
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[4]刘金杨;周凯;徐光伟;汪令飞;李泠;龙世兵;.
功率二极管模型
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[5]卢年端;汪令飞;李泠;刘明;.
A review for compact model of graphene field-effect transistors
[J]Chinese Physics B.2017,(03)
[6]卢年端;孙鹏霄;李泠;刘琦;龙世兵;吕杭炳;刘明;.
Thermal effect on endurance performance of 3-dimensional RRAM crossbar array
[J]Chinese Physics B.2016,(05)
[7]卢年端;宗旨威;李泠;刘琦;裘德龙;姬濯宇;刘明;.
三维集成阻变存储器阵列的电-热模型
[J]中国科学:物理学 力学 天文学.2016,(10)
[8]孙鹏霄;刘肃;李泠;刘明;.
Simulation study of conductive filament growth dynamics in oxide-electrolyte-based ReRAM
[J]Journal of Semiconductors.2014,(10)
[9]陆晶,陈宝钦,刘明,王云翔,龙世兵,李泠.
100nm分辨率的移相掩模技术
[J]微细加工技术.2003,(04)
[10]陆晶,陈宝钦,刘明,龙世兵,李泠.
100 nm分辨率交替式移相掩模设计
[J]固体电子学研究与进展.2005,(02)
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