张苗
【姓名】 张苗
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;电力工业;核科学技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 Pt薄膜,底电极,铁电薄膜,低压,绝缘层上硅,H~+注入,低功耗,织构,背散射沟道分析,Pt/Ti电极,SOI电路,直流溅射,硅集成,X射线多晶衍射,电路技术,体硅,真空蒸发,SOI技术,Ti薄膜,缺...
【工作单位】 中国科学院上海冶金研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海冶金研究所;
【所在地域】 上海
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[1]多新中,张苗,符晓荣,王连卫,林成鲁.低压、低功耗SOI电路的进展[J]固体电子学研究与进展.2000,(01)
[2]多新中,刘卫丽,张苗,高剑侠,符晓荣,林成鲁.硅中注氢热退火在晶体中产生的应力及其对晶体结构的影响[J]核技术.2000,(03)
[3]刘卫丽,多新中,张苗,沈勤我,王连卫,林成鲁,朱剑豪.超高真空电子束蒸发在多孔硅上外延单晶硅[J]功能材料.2001,(06)
[4]张天昊,翁惠民,范扬眉,杜江峰,周先意,韩荣典,张苗,林成鲁.He~+注入Si(100)缺陷退火效应的慢正电子束研究[J]核技术.2001,(04)
[5]门传玲,徐政,郑志宏,多新中,张苗,林成鲁.离子束增强沉积AlN薄膜的研究[J]压电与声光.2001,(05)
[6]刘卫丽,多新中,张苗,沈勤我,王连卫,林成鲁.多孔硅外延层转移制备SOI材料的研究[J]功能材料与器件学报.2001,(04)
[7]张苗.SOI──21世纪的硅集成电路技术[J]世界科学.2001,(01)
[8]范秀强,张正番,刘永光,多新中,张苗,王连卫,林成鲁.十二位SOI/CMOS数模转换器的研制[J]功能材料与器件学报.2002,(01)
[9]于伟东,王曦,陈静,张苗.等离子体基离子注入法制备SOI材料[J]功能材料.2002,(04)
[10]宋志棠,曾建明,高剑侠,张苗,林成鲁.不同工艺制备的铁电薄膜底电极Pt/Ti[J]稀有金属材料与工程.1999,(05)
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