邬华
【姓名】 邬华
【职称】
【研究领域】 自动化技术;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 兰宝石,生物敏感器,传感技术,外延硅,敏感器件,外延膜,硅膜,压力传感器,外延层,外延,载流子浓度,固态压力传感器,迁移率,掺杂效应,吸收因子,结晶质量,抛光片,外延生长,底表面,CMOS,膜厚度,蓝...
【工作单位】 中国科学院上海冶金研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海冶金研究所;
【所在地域】
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[1]陈庆贵,史日华,姚友龙,邬华,董荣康.SOS材料及其在传感技术中的应用[J]传感器技术.1986,(04)
[2]陈庆贵,史日华,邬华,詹千宝.化学生物敏感器件用SOS材料[J]传感器技术.1987,(Z1)
[3]陈庆贵;邬华;.新型传感器讲座 第二讲 新颖半导体力敏传感器[J]电子技术.1987,(09)
[4]陈庆贵,史日华,姚友龙,邬华,董荣康.兰宝石上外延硅工艺及其应用[J]半导体技术.1988,(03)
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