石华君
【姓名】 石华君
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 超薄有源层,超浅结,砷化镓IC,分子离子SiF~+注入,低能离子注入,低能全元素离子注入机,离子注入,GaAs,离子注入机,全元素,注入层,光退火,激活率,分子离子,摇摆曲线,纵向分布,电激活,原子,...
【工作单位】 中国科学院上海冶金研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海冶金研究所;
【所在地域】 上海
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[1]关安民，罗潮渭，李钧，石华君，林成鲁，夏冠群.低能离子注入的应用[J]电子学报.1996,(02)
[2]李光云,李连生,石华君,邱建华,唐秀花,邬慧娟.质子浅轰击深度对条形双异质结构激光器(简为DHL)特性的影响[J]半导体光电.1981,(02)
[3]关安民,李钧,石华君,罗潮渭,夏冠群.低能全元素离子注入机[J]微细加工技术.1993,(03)
[4]关安民,李钧,石华君,夏冠群,沈鸿烈,江炳尧,朱南昌,陈酋善.GaAs低能Si~+及SiF~+离子注入研究[J]微细加工技术.1993,(03)
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