李钧
【姓名】 李钧
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;核科学技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 离子源,引出系统,放电室,注入机,发射度,超薄有源层,高能离子,超浅结,离子注入,砷化镓IC,分子离子SiF~+注入,归一化,低能离子注入,离子注入机,低能全元素离子注入机,束流,亮度,GaAs,束流...
【工作单位】 中国科学院上海冶金研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海冶金研究所;
【所在地域】 上海
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[1]关安民，罗潮渭，李钧，石华君，林成鲁，夏冠群.低能离子注入的应用[J]电子学报.1996,(02)
[2]姜苏蔚,李钧,杜建敏,桑和康,刘来凤,蒋新元.用于离子注入机的Freeman型离子源的研制[J]核技术.1989,(01)
[3]关安民,孙义林,耿海阳,李钧,蒋新元.820离子源在600kV离子注入机上的应用[J]核技术.1989,(04)
[4]关安民,李钧,石华君,罗潮渭,夏冠群.低能全元素离子注入机[J]微细加工技术.1993,(03)
[5]关安民,李钧,石华君,夏冠群,沈鸿烈,江炳尧,朱南昌,陈酋善.GaAs低能Si~+及SiF~+离子注入研究[J]微细加工技术.1993,(03)
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