刘剑
【姓名】 刘剑
【职称】
【研究领域】 自动化技术;工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 微电子机械系统,噪声机制,微机械悬臂梁,分辨率,悬臂梁,压阻敏感,电磁激励,AGC式闭环电路,谐振模态,质量检测分辨率,机械噪声,谐振频率,频率抖动,品质因数,吸附,理论模型,脱附,质量分辨率,洛伦兹...
【工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
【所在地域】 上海
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中国期刊全文数据库    共找到2篇
[1]刘剑;李昕欣;金大重;刘民;王跃林;左国民;余海涛;包菡涵;.高阶谐振模态的超高质量分辨硅微悬臂梁压阻传感器[J]半导体学报.2006,(08)
[2]金大重;李昕欣;刘剑;于海涛;王跃林;左国民;李鹏;.微机械悬臂梁中的机械噪声机制分析[J]传感技术学报.2007,(01)
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中国优秀硕士学位论文全文数据库    共找到1篇
[1]刘剑.MEMS悬臂梁磁场传感器与谐振悬臂梁电磁驱动技术[D].中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）.2006
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