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蒋军
【姓名】
蒋军
【职称】
【研究领域】
工业通用技术及设备;物理学;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】
辅助沉积,Ag膜,离子束,Ar离子,溅射率,沟道效应,入射,轴沟,衍射峰,上海微系统与信息技术研究所,铂膜,功能薄膜,表面能,XRD谱,道方向,混合晶,晶粒,离子入射角,晶向,ZrO2薄膜,单晶,方位...
【工作单位】
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【曾工作单位】
中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
【所在地域】
上海
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中国期刊全文数据库
共找到5篇
[1]蒋军;冯涛;张继华;戴丽娟;程新红;宋朝瑞;王曦;柳襄怀;邹世昌;.
HfC涂覆碳纳米管增强场发射性能研究
[J]真空电子技术.2006,(01)
[2]戴丽娟;冯涛;蒋军;王曦;柳襄怀;李琼;张峰;.
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[J]光电子技术.2006,(02)
[3]江炳尧,蒋军,冯涛,任琮欣,张正选,宋志棠,柳襄怀,郑里平.
低能Ar~+离子束辅助沉积择优取向Pt(111)膜
[J]功能材料.2004,(06)
[4]蒋军;江炳尧;郑志宏;任琮欣;冯涛;王曦;柳襄怀;邹世昌;.
离子束辅助沉积铪膜抑制栅电子发射性能研究
[J]功能材料.2005,(11)
[5]江炳尧,蒋军,冯涛,任琮欣,张正选,柳襄怀,郑里平.
低能Ar离子束辅助沉积Ag(111)薄膜
[J]核技术.2005,(01)
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