郝幼申
【姓名】 郝幼申
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 退火,薄膜电阻,热扩散,Cu薄膜,Si衬底,退火温度,电阻,上海微系统与信息技术研究所,电阻薄膜,刻蚀时间,电阻率,俄歇,原子百分比,元器件,超大规模集成电路,热氧化,固态,电子能谱,中国科学院,原子,
【工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
【所在地域】 上海
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[1]周健,夏冠群,刘文超,李冰寒,王嘉宽,郝幼申.Si衬底上Ta-N/Cu薄膜性能研究[J]功能材料与器件学报.2002,(02)
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