陈苏
【姓名】 陈苏
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】 超大规模集成电路工艺中的抛光技术的研究
【发表文献关键词】 超大规模集成电路,化学机械抛光,铜表面,抛光液,多层互连,铜布线,平坦化,互连工艺,抛光速率,介电层,氧化物,二氧化硅,隔离层,纳米级,薄膜厚度,后清洗,中国科学院,机械作用,介质层,研究进展,
【工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
【所在地域】 上海
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[1]陈苏,张楷亮,宋志棠,封松林.多层互连工艺中铜布线化学机械抛光研究进展[J]半导体技术.2005,(08)
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