林应新
【姓名】 林应新
【职称】
【研究领域】 建筑科学与工程;
【研究方向】
【发表文献关键词】 微电子测试图形,CCD工艺,存贮时间,多晶硅,栅氧化,监控,CCD器件,硅栅,界面态密度,测试结构,测试图形,位错,铝栅,MOS电容,掺磷,晶片,薄层电阻,暗电流密度,CCD摄像器件,五邑大学,
【工作单位】 中国科学院上海技术物理研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海技术物理研究所;
【所在地域】
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[1]张钢,林应新,王缙,汪仁伍.利用微电子测试图形监控CCD工艺[J]五邑大学学报(社会科学版).1987,(02)
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