郑伟军
【姓名】 郑伟军
【职称】
【研究领域】 金属学及金属工艺;
【研究方向】
【发表文献关键词】 光学薄膜,平面行星夹具,修正挡板设计,停留概率修正法,不均匀性,量纲模型,薄膜沉积,运动轨迹,单层膜,轨迹分析,几何配置,膜厚分布,阴影效应,基底,大尺寸,镀膜机,实验结果,修正方法,发射特性,蒸发源,
【工作单位】 中国科学院上海光学精密机械研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海光学精密机械研究所;
【所在地域】 上海
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[1]方明;郑伟军;吴明;范瑞瑛;易葵;范正修;.平面行星夹具均匀性修正挡板设计方法研究[J]真空科学与技术学报.2006,(04)
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