孙荣阁
【姓名】 孙荣阁
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 薄膜面,热应力,有限元模型,自重变形,温度梯度,基底,有限元分析,有限元方法,熔融石英,热变形量,支撑方式,表面变形,膜过程,结构尺寸,应力变形,梯度分布,烘烤,等值线图,耦合作用,关键因素,
【工作单位】 中国科学院上海光学精密机械研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海光学精密机械研究所;
【所在地域】 上海
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[1]孙荣阁;易葵;范正修;.真空镀膜中基底预应力的有限元分析[J]中国激光.2006,(07)
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