郭立萍
【姓名】 郭立萍
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;仪器仪表工业;
【研究方向】 光学投影光刻机曝光系统相关技术的研究
【发表文献关键词】 微振动,曝光剂量,测绘仪器,干涉仪,步进扫描,实时测量,离轴照明,光学光刻,光源,投影光刻,光刻分辨率,离轴,光刻仿真,仪器,光瞳非对称性,干涉测量,照明均匀性,非序列光学元件,积分棒,投影物镜,光强...
【工作单位】 中国科学院上海光学精密机械研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海光学精密机械研究所;
【所在地域】 上海
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[1]郭立萍;王向朝;黄惠杰;.照明光瞳非对称性对光刻成像质量的影响[J]光学学报.2006,(06)
[2]郭立萍;黄惠杰;王向朝;.积分棒在步进扫描投影光刻系统中的应用[J]光子学报.2006,(07)
[3]李代林,王向朝,王学锋,郭立萍,刘英明.复合光源实时微振动干涉测量仪[J]中国激光.2004,(03)
[4]郭立萍,黄惠杰,王向朝.步进扫描投影光刻机中的曝光剂量控制技术研究[J]激光杂志.2004,(06)
[5]郭立萍,黄惠杰,王向朝.光学光刻中的离轴照明技术[J]激光杂志.2005,(01)
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