王振波
【姓名】 王振波
【职称】
【研究领域】 自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 TMAH,各向异性,腐蚀速率,粗糙度,腐蚀液,硅杯,腐蚀时间,晶向,研究与分析,正方形,表面粗糙度,向异性,腐蚀率,辽宁,阶梯结构,腐蚀液浓度,蚀液,腐蚀机制,物理系,腐蚀深度,
【工作单位】 中国科学院金属研究所
【曾工作单位】 中国科学院金属研究所;
【所在地域】 沈阳
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[1]沈桂芬,姚朋军,丁德宏,付世,吕品,杨春常,刘宏俊,王振波.采用TMAH腐蚀液形成正方形硅杯的粗糙度与腐蚀速率的研究与分析[J]传感技术学报.2002,(03)
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