吴维畦
【姓名】 吴维畦
【职称】
【研究领域】 金属学及金属工艺;
【研究方向】
【发表文献关键词】 反应溅射,薄膜,动力学模型,稳态,模型及应用,溅射,捕获效应,靶面,气体分压,溅射区,反应气体,金属腐蚀与防护,动力学,化合物,滞后现象,建立过程,气体流量,溅射速率,太阳能选择性吸收膜,滞后效应,
【工作单位】 中国科学院金属腐蚀与防护研究所
【曾工作单位】 中国科学院金属腐蚀与防护研究所;
【所在地域】 辽宁沈阳市
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[1]朱圣龙,王福会,吴维畦.反应溅射动力学模型及应用的研究[J]中国表面工程.1998,(02)
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