张菊芳
【姓名】 张菊芳
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;金属学及金属工艺;核科学技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 过滤介质,微流路,LIGA技术,制作,LIGA,掩模,塑铸,生物芯片,MEMS,SU8胶,电泳技术,X射线,芯片,束线,背面曝光,光刻胶,光刻,SU8,传输功率,微结构,沟道,吸收膜,电铸,X射线光刻...
【工作单位】 中国科学院高能物理研究所
【曾工作单位】 中国科学院高能物理研究所;
【所在地域】 北京
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中国期刊全文数据库    共找到25篇
[1]侯凤杰;伊福廷;樊瑞睿;张菊芳;廖元勋;陈元柏;欧阳群;.微网气体探测器微结构SPACER的研制[J]微纳电子技术.2009,(07)
[2]伊福廷;罗亮;张菊芳;陈元柏;谢一冈;谢万;.气体电子倍增器(GEM)聚酰亚胺膜结构的研制[J]高能物理与核物理.2007,(10)
[3]罗亮;伊福廷;张菊芳;.氯化铯纳米岛生长技术[J]功能材料与器件学报.2008,(01)
[4]伊福廷,张菊芳,彭良强,韩勇.利用紫外光刻技术进行SU8胶的研究[J]微纳电子技术.2003,(Z1)
[5]韩勇,彭良强,陈迪,伊福廷,张菊芳,黄军容.BSRF上的微细塑铸研究[J]微纳电子技术.2003,(Z1)
[6]黄军容,彭良强,伊福廷,蒋毅坚,张菊芳,韩勇.3B1束线上LIGA掩模的设计研究[J]微纳电子技术.2003,(Z1)
[7]伊福廷,姜雄平,彭良强,张菊芳,韩勇.微流路生物芯片的研制[J]微纳电子技术.2003,(Z1)
[8]伊福廷,缪鹏,彭良强,张菊芳,韩勇.利用背面曝光技术制造大高宽比SU8结构的一种新方法(英文)[J]半导体学报.2004,(01)
[9]董立军,陈大鹏,谢常青,韩敬东,叶甜春,伊福廷,彭良强,韩勇,张菊芳.50 nm X射线光刻掩模制备关键技术[J]核技术.2004,(02)
[10]谢常青,陈大鹏,李兵,叶甜春,伊福廷,彭良强,韩勇,张菊芳.50nm及50nm以下同步辐射X射线光刻光束线设计[J]核技术.2004,(05)
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中国重要会议全文数据库    共找到7篇
[1]彭良强;伊福廷;张院春;邹丽芸;张菊芳;韩勇;.基于LIGA技术的微细电火花加工研究[A].特种加工技术——2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集.2001-06-30
[2]彭良强;伊福廷;张院春;邹丽芸;张菊芳;韩勇;.基于LIGA技术的微细电火花加工研究[A].2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集.2001-11-01
[3]邹丽芸;张院春;彭良强;黄军容;伊福廷;张菊芳;韩勇;.基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究[A].第十届全国特种加工学术会议论文集.2003-10-01
[4]彭良强;伊福廷;张菊芳;韩勇;邹丽芸;张院春;.细长型电火花工具电极的制作研究[A].第十届全国特种加工学术会议论文集.2003-10-01
[5]伊福廷;张菊芳;.北京同步辐射装置LIGA技术研究[A].全国先进制造技术高层论坛暨制造业自动化、信息化技术研讨会论文集.2005-08-01
[6]伊福廷;张菊芳;侯凤杰;.利用光刻技术研制雾化器的金属微孔阵列[A].2007年中国机械工程学会年会之第12届全国特种加工学术会议论文集.2007-11-01
[7]伊福廷;张菊芳;侯凤杰;.利用光刻技术研制雾化器的金属微孔阵列[A].2007年中国机械工程学会年会论文集.2007-11-01
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