付秉相
【姓名】 付秉相
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;计算机硬件技术;自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 ISFET,双面光刻,SnO_2薄膜传感器,各向异性腐蚀,模拟可重编程的可变电阻存储器（memistor）,读电极,晶界导电,写电极,气敏特性,多孔薄膜,腐蚀自停止,特殊工艺,自停止,背面引线,重编程...
【工作单位】 中国科学院电子学研究所
【曾工作单位】 中国科学院电子学研究所;
【所在地域】 北京
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[1]陈绍凤，韩泾鸿，陈德勇，王利，付秉相.BSC──ISFET的特殊工艺研究[J]功能材料与器件学报.1996,(03)
[2]王悦,李建平,韩泾鸿,付秉相.多孔SnO_2薄膜的导电和气敏特性[J]真空科学与技术.1998,(04)
[3]申功烈,欧军,李自高,付秉相,王莉.固态薄膜可重编程的模拟可变电阻存储器的制造和性能[J]真空科学与技术.1998,(04)
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