吴桂君
【姓名】 吴桂君
【职称】 高级工程师;
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】 电子束曝光技术研究
【发表文献关键词】 微电子机械系统,缩小投影电子束曝光,电子束曝光系统,抗蚀剂,电子束扫描曝光,集成电路工艺,灵敏度曲线,微机械,等离子刻蚀,氧等离子体,工艺参数,分辨率,工艺过程,曝光剂量,反差,照明束,特性参数,干法...
【工作单位】 中国科学院电工研究所
【曾工作单位】 中国科学院电工研究所;
【所在地域】 北京
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[1]彭开武,顾文琪,吴桂君,张福安.缩小投影电子束曝光原理论证机[J]微细加工技术.2001,(04)
[2]吴桂君,彭开武,张福安,顾文琪,陈大鹏,杨清华,刘明,叶甜春.电子束缩小投影曝光系统的掩模研究[J]微细加工技术.2002,(03)
[3]彭开武,顾文琪,张福安,吴桂君.缩小投影电子束曝光系统的成像反差[J]微细加工技术.2002,(03)
[4]吴桂君，颐文琪.微电子机械系统的研究现状[J]电工电能新技术.1994,(02)
[5]吴桂君.电子束制版工艺[J]电工电能新技术.1988,(04)
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