梁俊义
【姓名】 梁俊义
【职称】
【研究领域】 计算机软件及计算机应用;
【研究方向】
【发表文献关键词】 电子束曝光机,数据转换,系统软件,工件台,A型,软件开,图形文件,数据转换软件,软件,图形格式,电子束曝光,数据管理软件,扩展名,工作文件,子目录,Varian,ARCH,通讯软件,子程序,程序流程,
【工作单位】 中国科学院电工研究所
【曾工作单位】 中国科学院电工研究所;
【所在地域】 北京
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[1]梁俊义,薛虹,刘浩,张福安.EBES-40A型电子束曝光机的软件开发[J]微细加工技术.1997,(02)
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