柏仲茹
【姓名】 柏仲茹
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 曝光机,电子束,投影,光电阴极,聚焦磁场,方箱,磁体,电子束投影曝光,阳极,电工,光电发射,铬掩模,掩模图,复印机,抗蚀剂,弥散圆,子图形,掩模版,中国科学院,加速电压,
【工作单位】 中国科学院电工研究所
【曾工作单位】 中国科学院电工研究所;
【所在地域】
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[1]黄经筒,吴振华,张祥龄,游本章,杨铁三,方国成,柏仲茹,齐克修.电子束投影复印曝光机[J]微细加工技术.1986,(03)
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