|
[1]刘震;李旭;马月英;陈波;曹健林;.23.4nm软X射线多层膜反射镜研制[J]光谱学与光谱分析.2011,(04)
|
|
[2]李敏;董宁宁;刘震;刘世界;李旭;范鲜红;王丽辉;马月英;陈波;.13.9和19.6nm正入射Mo/Si多层膜反射镜的反射率测量[J]光学精密工程.2008,(09)
|
|
[3]金春水,林强,马月英,裴舒,曹健林.均匀软X射线多层膜制备方法研究[J]强激光与粒子束.2003,(05)
|
|
[4]黄文忠,李英骏,谷渝秋,张杰,尤永禄,淳于书泰,何颍玲,雷安乐,陈正林,马月英,金春水.中心波长为28.5nm多层膜镜反射率测量[J]物理学报.2003,(04)
|
|
[5]林强,金春水,向鹏,马月英,裴舒,曹健林.偏心孔阑离轴照明EUVL微缩投影物镜的设计及模拟装调[J]光学仪器.2003,(04)
|
|
[6]吕俊霞,马月英,裴舒,陈星旦,曹健林.Mo/B_4C软X射线多层膜结构特性研究[J]光子学报.2000,(05)
|
|
[7]刘毅楠,马月英,斐舒,尼启良,胡卫兵,曹健林.30.4nmSi/C多层膜反射镜的制备与测量[J]真空科学与技术.2000,(06)
|
|
[8]刘毅楠,马月英,裴舒,胡卫兵,曹健林.软X射线光学系统曲面镀膜膜厚测量方法[J]光学精密工程.2000,(02)
|
|
[9]王占山,马月英.极紫外多层膜制备工艺研究[J]光学技术.2001,(06)
|
|
[10]刘毅楠,马月英,曹健林.高反射率13nmMo/Si多层膜[J]光学仪器.2001,(Z1)
|
|
更多
|