卢志山
【姓名】 卢志山
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;计算机软件及计算机应用;
【研究方向】
【发表文献关键词】 磁悬浮,CAD/CAE,光刻机,模态分析和测试,光刻,直线电机,电磁场分析,微进给机构,磁悬浮系统,工件台,磁场研究,定位精度,有限元法,掩模台,有限元方法,定位平台,承片台,解耦控制,悬浮台,导轨,...
【工作单位】 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【曾工作单位】 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;
【所在地域】 长春
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[1]王延风,卢志山,宋文荣,田兴志,何惠阳.磁悬浮纳米级步进扫描工作台CAD/CAE设计研究[J]机械设计与研究.2004,(01)
[2]杨秀华,王延风,卢志山.磁悬浮微进给机构电磁场研究[J]电光与控制.2004,(03)
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