刘颖敏
【姓名】 刘颖敏
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 极紫外,多层膜,残余应力,Si多层膜,压应力,单层膜,激光等离子体诊断,极紫外光刻,层比,高反射率,张应力,反射率,传统方法,实验研究,实验结果,表现为,一定程度,周期厚度,应用光学,物理研究所,
【工作单位】 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【曾工作单位】 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;
【所在地域】 吉林长春
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[1]向鹏,金春水,张立超,金伟华,刘颖敏,曹健林.极紫外多层膜残余应力初步研究[J]强激光与粒子束.2005,(03)
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