刘毅南
【姓名】 刘毅南
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 薄膜,ITO膜,离子辅助沉积,氧化锌,等离子体增强化学气相沉积,氧空位,原子力显微镜,有机源,碳等离子体,电子束,氧离子,ITO透明导电膜,锌金属,化学气相沉积,辅助法,二氧化,开放研究实验室,物理研...
【工作单位】 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【曾工作单位】 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;
【所在地域】 吉林长春
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[1]楚振生,李炳生,刘益春,申德振,范希武,刘毅南.用锌金属有机源和二氧化碳等离子体增强化学气相沉积的方法制备高质量氧化锌薄膜[J]发光学报.2000,(04)
[2]初国强,王子君,赵家民,刘毅南,刘云,刘星元,王立军.氧离子辅助法沉积ITO透明导电膜的研究[J]光学精密工程.2001,(02)
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