钟慧莉
【姓名】 钟慧莉
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 光致特性,硝基,增感剂,光刻胶,曝光区,腐蚀反应,选择刻蚀,光敏树脂,光化反应,光化产物,挥发特性,环已酮,HF气体,有机化合物,刻蚀速率,刻蚀过程,解离,刻蚀特性,腐蚀系统,交联,
【工作单位】 中国科学院半导体研究所
【曾工作单位】 中国科学院半导体研究所;
【所在地域】
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[1]韩阶平,钟慧莉,马俊如,王守武.5-硝基苊光致特性的研究[J]电子学报.1985,(03)
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