张青
【姓名】 张青
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 等离子刻蚀,超晶格,游离基,子中心,反应室,图形刻蚀,射频电场,微电,实验装置,等离子腐蚀,同成份,电场,平均腐蚀速率,附加功,超晶格材料,射频电源,射频电压,过腐蚀,a-C,a-Si,
【工作单位】 中国科学院半导体研究所
【曾工作单位】 中国科学院半导体研究所;
【所在地域】 北京
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[1]王玉玲,张青.等离子刻蚀a-Si:H/a-C:H超晶格[J]半导体学报.1988,(03)
[2]李福德;张青;.用结恢复电流研究a-Si:H p~+-i-n~+结构的缺陷[J]西安理工大学学报.1991,(03)
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