余海仁
【姓名】 余海仁
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 硅太阳能电池,多晶,ESCA分析,太阳能电池,多层结构,ESCA,能源问题,多晶硅,SiO_2/Si,效率,模拟样品,局部谱,铬层,全谱,溅射,电子能,深度分析,功函数,开路电压,半导体,
【工作单位】 中国科学院半导体研究所
【曾工作单位】 中国科学院半导体研究所;
【所在地域】
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[1]李炳胜,王佑祥,余海仁,许振嘉.MIS多晶硅太阳能电池的AES和ESCA分析[J]半导体学报.1981,(01)
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