于清
【姓名】 于清
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 气相外延,外延层,砷化镓,生长速率,淀积温度,偏离度,电学性质,肖特基,外延材料,表面形貌,混频器,载流子浓度,衬底取向,有用数据,外延,半导体,反应管,[100]取向,浓度分布,激活能,
【工作单位】 中国科学院半导体研究所
【曾工作单位】 中国科学院半导体研究所;
【所在地域】
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[1]吴赛娟,仇兰华,陆大成,于清,王瑞林.砷化镓掺硫气相外延[J]半导体学报.1982,(02)
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