王晓燕
【姓名】 王晓燕
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;电信技术;临床医学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 RF-MBE,铟铝镓氮,RHEED,XRD,AFM,外延膜,蓝宝石衬底,晶体质量,卢瑟福背散射,外延生长,摇摆曲线,单晶,射频等离子体,均方根粗糙度,深度分布,外延层,射线衍射,光电导谱,带隙,谱测量,
【工作单位】 中国科学院半导体研究所
【曾工作单位】 中国科学院半导体研究所;
【所在地域】 北京
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[2]王保柱;王晓亮;王晓燕;王新华;郭伦春;肖红领;王军喜;刘宏新;曾一平;李晋闽;.蓝宝石衬底上单晶InAlGaN外延膜的RF-MBE生长[J]半导体学报.2006,(08)
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