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王军杰
【姓名】
王军杰
【职称】
【研究领域】
无线电电子学;
【研究方向】
实验固体物理研究
【发表文献关键词】
离子束外延,氧化铈,热处理,外延层,化学配比,低价氧化物,AES深度剖析,异质结构,子晶格,向内扩散,体特性,低氧化物,常压氧,峰半高宽,荧石,理化室,股厚,SOI材料,双晶衍射,半导体,
【工作单位】
中国科学院半导体研究所
【曾工作单位】
中国科学院半导体研究所;
【所在地域】
北京
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共找到1篇
[1]黄大定,王军杰,杨锡震,吴正龙.
对离子束外延氧化铈/硅热处理行为的初步研究
[J]半导体学报.1997,(07)
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