李健光
【姓名】 李健光
【职称】
【研究领域】 物理学;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 SiO2/Si,波导制备,应力差,双折射系数,数值分析,包层,热膨胀系数,垂直方向,偏振相关,芯区,制备工艺,折射率,有限差分束传播法,重掺杂,二氧化硅,应力分布,玻璃化,波长,硅衬底,core,
【工作单位】 中国科学院半导体研究所
【曾工作单位】 中国科学院半导体研究所;
【所在地域】 北京
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