李宝骐
【姓名】 李宝骐
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 硅化物,Ti/Si,Si系,激光退火,热退火,Ar+激光,俄歇,硅原子,Ti膜,TiSi_2,互作用,固相反应,全部反应,金属硅化物,扩散限制,长时间退火,光退火,原子,功率密度,束流,
【工作单位】 中国科学院半导体研究所
【曾工作单位】 中国科学院半导体研究所;
【所在地域】
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[1]李宝骐,王佑祥,殷士端,许振嘉.Ti/Si和Ti/SiO_2/Si系统硅化物的形成[J]半导体学报.1987,(03)
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