金晓军
【姓名】 金晓军
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;化学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 磷,治理,化学气相外延,Ge_xSi_（1－x）,热力学计算,流体力,外延层,气相色谱,KBH_4,表面反应,CVD系统,石墨舟,外延,锗烷,反应管,动力学模,GeSi,热力学分析,生长速度,表面反应...
【工作单位】 中国科学院半导体研究所
【曾工作单位】 中国科学院半导体研究所;
【所在地域】 北京
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[1]闻瑞梅,陈朗星,金晓军.InP-H_2-KBH_4体系中磷的热力学分析、检测及治理[J]应用基础与工程科学学报.1994,(04)
[2]金晓军，梁骏吾.GeSi　CVD系统的流体力学和表面反应动力学模型[J]电子学报.1996,(05)
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